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角度位移傳感器 光柵尺--利用光的干涉和衍射原理制作而成的傳感器。當兩塊柵距相同的光柵疊放在一起,同時(shí)讓線(xiàn)紋構成一微小角度,這時(shí)在平行光照射下,與刻線(xiàn)垂直方向上就能看到對稱(chēng)分布的明暗相間的條紋,稱(chēng)為莫爾條紋,因此莫爾條紋是光的衍射和干涉作用的總效果。當光柵移動(dòng)一個(gè)小柵距時(shí),莫爾條紋隨之移動(dòng)一個(gè)條紋間距,這樣,我們測量莫爾條紋的寬度就比測量光柵線(xiàn)紋寬度容易的多。此外,由于每條莫爾條紋都是由許多光柵線(xiàn)紋的交點(diǎn)組成,當線(xiàn)紋中有一條線(xiàn)紋有誤差時(shí)(間距不等或傾斜),這條有誤差的線(xiàn)紋和另一光柵線(xiàn)紋的交點(diǎn)位置將產(chǎn)生變化。但是,一條莫爾條紋是由許多光柵線(xiàn)紋交點(diǎn)組成,因此,一個(gè)線(xiàn)紋交點(diǎn)位置的變化,對于一條莫爾條紋來(lái)講其影響就非常小了,所以莫爾條紋可以起到放大和平均的作用。角度位移傳感器
磁柵尺--利用磁極的原理制作而成的傳感器?;呤潜痪鶆虼呕匿搸?。S和N極均勻間隔排列在鋼帶上,通過(guò)讀數頭讀取S,N極的變化來(lái)記數。
光柵尺受溫度影響較大,一般使用環(huán)境在40攝士度以下。
敞開(kāi)式磁柵尺容易受磁場(chǎng)影響,封閉式磁柵尺則無(wú)此困擾,但成本較高。角度位移傳感器
磁柵的一個(gè)重要特點(diǎn)是磁柵尺與磁頭處于接觸式的工作狀態(tài)。磁柵的工作原理是磁電轉換,為保證磁頭有穩定的輸出信號幅度,考慮到空氣的磁阻很大,故磁柵尺與磁頭之間不允許存在較大和可變的間隙,*好是接觸式的。為此帶型磁柵在工作時(shí)磁頭是壓入于磁帶上的,這樣即使帶面有些不平整,磁頭與磁帶也能良好的接觸。線(xiàn)型磁柵的磁柵尺和磁頭之間約有0.01mm的間隙,由于裝配和調整不可能達到理想狀態(tài),故實(shí)際上線(xiàn)型磁柵也處于準接觸式的工作狀態(tài)。角度位移傳感器
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